SFE-35型超臨界二氧化碳超聲清洗係統超臨界二氧化碳無損傷清洗設備。應用此設備對矽片進行清洗的顆粒明顯減少，且平均粒徑小於傳統清洗的粒徑。相對用等離子法清洗，該方法不會對矽片造成損傷，同時可減少工藝步驟，節省時間，提高工作效率。

SFE-1型超臨界二氧化碳清洗係統超臨界二氧化碳無損傷清洗設備。應用此設備對矽片進行清洗的顆粒明顯減少，且平均粒徑小於傳統清洗的粒徑。相對用等離子法清洗，該方法不會對矽片造成損傷，同時可減少工藝步驟，節省時間，提高工作效率。